Модули позиционирования с шаговым приводом

Печать

spm Трехкоординатные модули позиционирования СПМ-2 с шаговым приводом и контроллером предназначены для работы совместно с лазерными микроскопами и служат для прецизионного перемещения объекта, находящегося в фокальной плоскости объектива, относительно точки фокусировки лазерного пучка.

Конструкция модуля обеспечивает высокую скорость и точность перемещения при сохранении максимальной жесткости и устойчивости к вибрациям. Модуль имеет стандартные крепежные отверстия для его фиксации винтами М6 на оптической плите, на которой расположен микроскоп.

Для удобства работы в составе испытательных установок для лазерного моделирования радиационных эффектов от тяжелых заряженных частиц модули оснащены адаптером специальной конструкции, облегчающим установку и закрепление испытуемых печатных плат с возможностью их юстировки (поворота и наклона) относительно оптической оси микроскопа.

Программное управление модулем осуществляется через многоканальный контроллер шаговых двигателей, подсоединенный к ПК, обеспечивая возможность перемещения объекта в плоскости XY, подстройку фокусировки (в направлении Z), а также сканирование желаемой области исследуемого объекта. Программное обеспечение позволяет осуществлять сканирование синхронно и асинхронно с лазерными импульсами.

Технические характеристики модулей позиционирования СПМ-2

Параметр

Величина

Минимальный шаг перемещения, мкм:
по горизонтали (X, Y)
по вертикали (Z)


0,078
0,156

Диапазон перемещения, мкм:
по горизонтали (X, Y)
по вертикали (Z)


100
25

Воспроизводимость установки положения, мкм, не более

2

Максимальная скорость перемещения, мм/с

2

Габаритные размеры (Д×Ш×В), мм:

350×350×200